第二十章 真空鍍膜（上）(第2/2 頁)

度。”

艙體最上面是一塊大的圓形金屬擋板，以及一個可以旋轉的樣品臺。

“上面這個肯定是樣品臺了，為什麼下面要加裝一塊金屬擋板呢？”許秋問道。

“這塊金屬擋板叫做樣品擋板，當他處於開啟狀態時，可以有效阻擋氣體分子沉積在樣品表面。因此，我們可以利用它，控制蒸鍍的開始和結束時間，得到精確的厚度。”陳婉清道。

將艙內情況瞭解完畢後，許秋開始做蒸鍍前的準備工作。

兩批基片的器件結構不同，需要分兩次進行蒸鍍。

第一批是正常結構，也就是蒸鍍鈣和鋁。

許秋首先在鎢簍中裝滿99995純度的鋁錠，然後讓學姐幫忙開啟鈣束源爐的擋板。

擋板的開關是數控的，需要在手套箱外的總控臺操作。

開啟擋板後，他取出束源爐內部的陶瓷坩堝，將上次使用後剩餘的殘渣倒出，再加入兩勺新的99995純度的鈣粉末。

陶瓷坩堝是特質的，可以至少承受1000攝氏度以上的高溫，且十分穩定，不會與靶材反應，產生雜質。

完成後，他讓學姐關閉束源爐擋板。

最後，他將一片片基片正面朝下放置在樣品支架上，再將樣品支架放回樣品臺。

“學姐，沒有問題吧，可以關艙門了嗎。”許秋看向陳婉清。

“嗯嗯。”陳婉清點點頭。

許秋將艙門從右往左推回原位，然後旋轉艙門上下的兩個旋鈕，直至無法轉動為止。

……

許秋離開手套箱，和學姐一同來到總控臺，因為剩下的操作主要在總控臺完成。

總控臺接近兩米高，由十幾個模組拼接而成，一共有30多個控制按鈕。

“旁邊有操作說明，嚴格按照說明來做就行。”陳婉清道。

許秋拿起《真空鍍膜儀使用說明》翻看，只有兩頁a4紙，並沒有想象中的多。

他表面上在看說明書，實則在心中檢視系統。

系統已經將學姐的技能複製了，可以看到每步操作的細節，所以文字版的說明書意義已然不大。

“我看完了。”許秋道。

“這麼快？”陳婉清道：“行，那你來操作吧，有什麼問題我會提醒你的。”

第一步是開啟迴圈水系統和空氣泵。

前者用來冷卻分子泵，而後者用來推動樣品擋板。

許秋找到位於總控臺後面的迴圈水裝置，按下綠色的啟動鍵，便聽到儀器發出嗡鳴聲，仔細聽的話還有水流聲。

然後，他走到空氣泵旁邊。

空氣泵上有一個橙紅色的瓶蓋大小的開關，需要拉起來，才能啟動機器。

許秋試著向上拉，開關卻紋絲不動，他也不敢太用力，便說道：

“學姐，怎麼弄。”

“用力弄啊。”

“砰！”