第二十章 真空鍍膜（上）(第1/2 頁)

旋塗完成後，許秋找到陳婉清，請教接下來的實驗操作。

學姐拿出實驗記錄本，一邊寫寫畫畫，一邊講解教學：

“我們最終要得到的是多層結構的太陽能電池器件，比如現在做的這個體系，正結構就是gss/ito/pedot:pss/p3ht:pc[60]b：pc[70]b/ca/al。

共有六層結構，層與層之間用“/”分隔，“：”則表示該層是由兩種或以上物質共混。

那麼，你這幾天下來做的工作就是：

首先，清洗具有ito圖案的玻璃基片，得到gss/ito部分；

然後，旋塗pedot:pss溶液和有效層，得到pedot:pss/p3ht:pc[60]b：pc[70]b部分；

最後一步，也就是接下來要做的，是採用真空鍍膜方法，將鈣和鋁蒸鍍至基片上，得到ca/al部分。

真空鍍膜法，原理是在真空條件下，加熱靶材，使之氣化，靶材形成的氣態分子會在艙體內運動，最終均勻沉積在樣品表面，形成薄膜。

我們採用的加熱方法有兩種，一種是束源爐加熱，另一種是鎢絲加熱。

蒸鍍的操作比較繁瑣，有很多細節需要注意，所以我來親自指導你。”

“好的，學姐。”許秋道。

…………

兩人做好防護，進入實驗室。

許秋先將旋塗好的基片，從手套箱中拿出，然後迅速轉移至裝有蒸鍍裝置的手套箱中。

這個手套箱外接有三隻橡膠手套，同時只能進入一個人。

於是，許秋進入箱內，學姐則在外面。

箱體內主要有兩臺大型裝置，左邊的是蒸鍍裝置。

蒸鍍艙的艙體是由厚重的鋼板所制，艙門用軌道連線在艙體上。

許秋將艙門朝右邊推開，推著還蠻沉的。

他好奇道：“學姐，這套裝置也不便宜吧。”

“整套裝置差不多20萬吧，包括蒸鍍艙、分子泵、迴圈水系統、總控制檯，是找沈羊一家專門做真空裝置的公司訂做的。

他們公司離這邊比較遠，所以弄壞的話修起來也麻煩，上次迴圈水出了故障，他們過來修，路費就要了五千。”陳婉清。

“學姐怎麼知道的這麼清楚？”許秋疑惑道。

“因為學校要統計實驗室的固定資產，價格超過1000元的都要統計上報。實驗室雖然是魏老師管，但所有權是歸國家的，因為申請的科研經費是國家出的。除非是老闆自掏腰包或者企業出錢，那就另說。”陳婉清道。

許秋點點頭，開始打量艙體內部。

下面有四個圓柱體形狀的爐子，應該是束源爐。

四個束源爐旁邊有兩個金屬平臺，每個平臺上面都有一塊金屬板，大概六厘米長，三厘米寬，一厘米厚，金屬板透過六角螺絲與平臺連線，中間有一定的縫隙。

“學姐，這個是幹什麼用的？”許秋指著平臺問道。

“這個是電流加熱裝置，將用鎢絲製成的簍，放在兩個平臺間，用金屬板壓住鎢簍兩端，通電流對鎢簍加熱，可達到很高的溫度，使其內部靶材氣化，進行蒸鍍。”陳婉清道。

許秋繼續看向艙體，中間部分有一探頭狀的物體，像個吊燈一樣懸掛在束源爐和平臺的上方。

學姐順著許秋的目光看去，主動介紹道：

“這個是晶振裝置，探頭處裝有晶振片，用來實時檢測蒸鍍的薄膜厚度。它的位置一定不能亂動，因為現在的引數是已經標定過的，如果移動了它的位置，對膜厚的檢測結果就不標準了。此外晶振片也是有壽命的，所以需要定期更換晶振片，並重新標定厚