第116章 科研進度2(第1/2 頁)

為了這一個光刻機的光源系統，陳陽以及龍科院的眾人可沒少花心思。

為了能夠更好的濾除其他波長的光，先是研究了一種全新的材料，這種材料是一種摻雜各類化合物的玻璃，這種玻璃一來是可以吸收除了特定波長以外的光。還能將當中的四散的13.5nm的光匯聚在一起。

這種玻璃製備的透鏡相比於EUV多層膜反射鏡對於製備和加工的工藝要求更低，而且不會因為等離子的體的衝擊產生碎屑，從而導致匯聚光源出問題。

為了這一個材料，陳陽和龍科院的諸多科學家根據陽神AI研究的數百種可能的材料，從中進行不斷篩選，隨後為了這一個材料的製造，也沒少耗費心血。

畢竟需要將那些化合物以特定的方式摻雜到當中，這跟製造半導體差不多，但是半導體的材料引數和基底跟這一個是完全不同的，因此只能不斷進行調整，進行各種改進方式。

陽神AI可以提前幫助人們研究某一種究竟是不是可行的，但是實際還是要靠人操作的，此外像是這當中的意外是特別多的，很多時候連陽神AI都沒辦法解決。

這就要依靠陳陽他們了。

光源系統出來了，但是這並非意味著一帆風順，還有著投影系統，載片臺（晶圓臺），對準系統，控制系統等一一系列問題需要解決。

像是世界上頂尖的超高精度機床對於加工誤差要控制在0.005mm以下，但是光刻機的加工比起這些超高精度機床還要高三個數量級，也就是還要高一千倍以上。

每一個都是難點，要想辦法繞過去或者直接解決這些困難。

時間來到了第二年的六月。

“終於將這一個光刻機的原型機制造出來了，接下來就是驗證和生產了。”陳陽看著各種線路和機械結構裸露在外的光刻機。

在接下來的一個月當中，先是將這一個光刻機安裝上外殼，安裝到超淨車間當中，進入到當中的每一個人都需要穿戴好專門的服裝和相關的物品。

畢竟你面板上掉落的一個皮屑如果出現在晶圓當中，那麼這一個晶圓就沒辦法用了。像是一片最為便宜的晶圓都要好幾千的，如果是十二寸的晶圓，價格高達數萬塊。

如果在超淨車間以外的任何一個地方開啟，空氣中的灰塵就會直接附著到上面，這一塊晶圓就廢了。

從高純度的多晶矽中生長出單晶矽錠，然後透過切割和拋光步驟製備出平整的晶圓。再到經歷氧化和鈍化，光刻，蝕刻，摻雜，離子氣相沉積，平坦化處理，金屬化，經過各種工藝的，才終於能夠將沙子製備成一塊晶片。

流片一次也是需要上千萬的資金，最為重要的便是掩模版不便宜，他是晶片加工不可或缺的一部分。

設計出的晶片想要加工必須要製備專門的掩模版，一塊掩模版就高達數百萬，如果晶片失敗，這一塊掩模版就直接廢了。

陳陽的注視下，一塊晶圓經過各種加工程式，最後得到了晶片，工作人員將晶片放到專門的儀器當中測試起來。

良品率百分之五十。

得知了良品率達到了百分之五十，陳陽整個人感覺都舒坦了不少。

晶片製造跟很多的加工並不一樣，像是那些機床加工出來的產品，良品率低於百分之九十五，廠長可能將你的頭打爆啊！

富士康在龍國代工生產蘋果，良品率高達百分之九十八，在阿三國的加工廠當中只有百分之五十。純純的賠錢貨。

晶片的初次製造有良品，而且是高達百分之五十，那就意味著這一個晶片設計沒問題，光刻機也沒有問題。良品率後面慢慢改進就好了。

而且首次加工良品率就高達百分之五十，恰恰能證明這一臺光刻機的優秀，哪怕臺積