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第45章 光刻機技術(第2/3 頁)

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…您好。”

他感覺自己有些不會說話了。

“葉博士,您好。”

楊辰伸出手。

“您好。”

“葉博士,我看了您技術資料,說實話,您是真了不起。”

“竟然可以用瑞利判據,將光的衍射角做到那種程度。”

“不斷使得加速電壓U增大大,電子束波長 λ就越小,最後極限衍射θ角就 越小。”

“您這是走的繞開了EUV的光源,試圖用電子束來進行替代,並且取得了很不錯的成效。”

“實在是一個很了不起的工作。”

楊辰讚歎道。

行家一出口,就知有沒有!

葉天明聽到楊辰的話心中一震。

這正是他研究的方向!

電子束光刻機。

不僅僅可以避開極紫外光的製造問題,還能一定程度的降低超高要求的鏡片模組問題。

追趕西方是趕不上了,只能想辦法彎道超車!

“葉博士,我已經將您的研究資料看完了,並且就其中的難點進行了一點點技術攻克。”

葉天明傻眼了。

於成偉等人懵逼了。

他看完 了技術資料,還該進了?

換句話說,也就是他解決了現存的技術難題?

“我們先去生產線和實驗室看看吧,後面再細談這些技術細節。”

眾人的震驚他盡收眼底。

或許在別人看來這個東西很困難,但是,他有道爺啊。

光的極限衍射問題最大的障礙就是超高的加速電壓!

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目前能支撐研究的電壓不超過百萬伏特。

可是,自己弄出來了可控核聚變的啊!

至於高精度的鉬或者矽反射鏡,這些還是在“成像”雕刻的原理上需要的。

可他要的不僅僅是成像雕刻,他需要的是從分子級別來進行組建的碳基晶片的光刻機。

是可以製造一個“活著”的晶片的光刻機。

在於成偉的帶領下,楊辰仔細檢視了他們生產線和研發室。

心中大定!

還好,基本不會大動太多,稍加改造應該可以滿足自己的需求!

眾人來到一個大型會議室。

楊辰將之前提到的問題一一做了講解,聽得臺下的幾個頂級教授瞠目結舌。

楊辰的設想遠超時代的進度!

1-28nm的全製程光刻機!

他們想都不敢想的東西。

可在楊辰的技術講解下,眾人居然產生了一個十分荒謬的感覺——就這?

好像真的不是很難的樣子!

看著楊辰年輕的有些過分臉,感覺好不真實。

年齡差距很大!

實力差距也很大!

“技術問題我們就說到這裡了,接下來我們談談合作的事宜了。”

這是商業上的問題了,和於成偉直接談了。

他此行的目的是需要將光刻機的生產線掌握在自己手裡的!

“於董,我做事很乾脆,我給你們光刻機技術資料,並且向國家要求要求注入資金五百億。”

“而且是隻佔你們公司百分之三十的股份。”

“唯一的附加要求是,光刻機的生產必須要百分百交給國家管理!”

楊辰說完自己的想法,房間中安靜了下來。

他這就相當於是花五百億直接買下生產線。

而且原本微電子科技公司的市值也不過一千億,現在國家注資五百億,卻只佔百分之三十。

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