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元旦的時候陸見他們跑去光學研究所參加了光刻機還有蝕刻機的專案組的會議，會議上人很多，他們計算機研究所領頭的是霍所長，他們這次也是要出不少力的，不過這次研究主要出力的人還是光學研究所這邊的人，陸見他們主要負責的是控制程式這一塊。

會議開得非常熱鬧，才進行沒多久就有人吵起來了，不過他們說的都是光學相關的技術，和陸見他們的沒有很大關係，跟著陸見過來的不少人都有些聽不懂。陸見之前看過不少光學相關的書，倒是差不多能聽懂，但如果讓他說出個什麼來的話就完全不行了。只能耐心仔細的聽著，畢竟這是一個專案組，不少研究都是有聯絡的，多一些瞭解對後面的研究也有好處，會讓他們設定的控制程式更合適。

第262章

光刻機的研究要比蝕刻機複雜多了, 所以這個研究的重心還是放在光刻機的研究上面的。

這一次光學研究所的目標還是非常大了，想直接將步進掃描投影曝光機，準備將積體電路圖形的線寬縮小到035 μ的節點。波長能達到193n, 光學光刻解析度爭取能達到70n的極限，目標很宏大, 自然需要的時間也不少。

限制晶片大小的主要關機就是在於光刻系統能獲得的解析度有關, 而提升解析度最有效的方法就是減小照射光源的波長, 因此這個專案的關鍵就是開發和尋找新型的短波長的光源, 研究不同的光源本來就是光學研究所的重要任務, 所以這一次他們專案的重點也就是找到只有193n甚至是要比這個數字更短的光源。

而這項任務除了本身的研究實力, 大量的實驗之外, 自然還需要不少運氣了, 陸見倒是記得光刻機的幾種光源, 大概是雷射、紫外光、深紫外光，還有極紫外光, 而極紫外光是後世最先進的光源技術, 只可惜陸見也就知道些名字，前世的時候並不是很瞭解，他近段時間倒是補充了不少光學知識, 但是後面這些光源不是還沒有被研發出來, 就是應用方面還有很多問題, 所以現在的光刻機使用的還是雷射。

陸見坐在霍所長的邊上, 耳中聽著那些人的話，一邊的霍所長也聽得有些無聊，現在還沒有提到他們的部分，他不像陸見一般，這次過來的原因主要就是因為這個是三個單位的合作專案, 他過來算是重視，具體任務還是交給陸見他們去做的，所以他就只是聽著。他本來的位置不在陸見這邊，是他強烈要求才做過來的，按他的說法反正我都沒有什麼話要說，哪裡需要坐這麼後面。

不過一邊的陸見倒是一直在記著筆記，趁著中場休息的時候霍所長搶過陸見的筆記本，仔細看了起來，還真是有模有樣啊。他不由得嘖嘖兩聲，有些感興趣地說：「這個筆記記得挺詳細的啊？」

陸見被他搶了筆記本也不著急，將鋼筆收好，笑著對他道：「他們說得挺好的，能學到不少東西。」

霍所長看了一會，「你這筆記裡面的記得東西都是關鍵要點，看來之前做過不少功課啊？」

陸見也沒隱瞞，「這不是要研究光刻機嘛，這個專案關鍵是光源，所以我就多瞭解了一些。」

霍所長總覺得似乎有些不對勁，正準備說話，突然就有一個走到他後面將他手中的筆記本給搶了過去，霍所長和陸見回頭望過去，卻是一個頭髮發白的老人，他有些矮，不，應該說很矮，背有些駝，看著只有一米六的樣子，不過身上的氣勢倒是挺足的。真是會議一開始在臺上說話的光學研究所所長，莫季明。

他搶過筆記本就仔細看了起來，霍所長則是有些無語地白了他一眼，「好你個莫老頭，你是什麼東西都要搶是吧，趕緊還回來。」說話見他就站了起來，伸手就要將那個筆記本搶過來。

莫所長麻利地躲過了他的手，完全就不像是一個