第六十九章 鉅額訂單(第1/2 頁)

檢測室內，神光1x射線光刻機正在運轉著，一群工作人員依舊在孜孜不倦的測試和調整。

作為中芯國際的首席技術執行，官李偉光技術水平還可以，他兩眼放光盯著眼前的龐然大物，這是多麼美妙的工業之花。

李偉光心想，希望這臺光刻機是秀外慧中的美人，而不是金玉其外。

高致遠指著光刻機介紹道：“大家眼前的這臺光刻機，就是我們神光儀器研發神光1x射線光刻機，具體技術指標，想必大家已經有所瞭解了。”

李偉光、趙軍等人當然瞭解，工信部的公告附件上面，就有神光1x射線光刻機的技術指標，他們半路上已經研究過。

“高總，貴方的光刻機精度真的可以達到10～7奈米”李偉光急促的問道。

“我知道大家非常懷疑，一旁有八寸矽片，中芯國際應該有帶技術員過來吧”

李偉光點了點頭。

高致遠指著一側的庫房繼續說道：“你們可以派人拿著矽片，和我們的員工一起進行光刻測試。”

“那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉過頭向中芯國際的人吩咐道：“張工、李工，麻煩你們了。”

倆中年技術員麻利動手，他們藉助工具小心翼翼的將矽片取出。

這些矽片不僅僅價格昂貴，而且非常脆弱，別說摔地上了，哪怕是空氣最好也別直接接觸，因為沾染上灰塵會非常麻煩。

將兩片矽片送入專門的清潔裝置之中，然後塗抹光刻膠，將光刻膠攤平到一定的厚度，晾乾矽片表面的光刻膠。

其中的工序非常繁雜，也不能有一絲失誤，這不僅僅考驗機器裝置，也考驗技術員的水平。

要是其中一個環節出現失誤，不僅白忙活了半天，矽片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費了，這些都是真金白銀。

怪不得說科研就是在燒錢。

一個多小時過去，終於到了矽片光刻的步驟，一塊八寸矽片被光刻機的自動化裝置送入其中。

為了避免影響光刻效果，李工透過一個小視窗的透鏡觀察了矽片一會，便將小視窗關閉，讓光刻室形成一個暗箱。

張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板（電路圖母板），隨便挑選了其中一個模板，輸入尺寸調整。

因為不同的晶片電路圖，需要的面積不一樣，因此一塊矽片可以刻出多少顆晶片，是要根據實際情況來調整的。

工作人員們都是用簡單的手勢來交流著，在這種高精密的裝置周圍，哪怕是說話大聲一點，都可能影響到光刻結果。

光刻開始。

大約16秒左右，被光刻完成的矽片便出現另一側的出口。

然後又快速加工了第二塊矽片，同樣是16秒左右出來。

在檢測室外面的趙軍、李偉光、方龍等人，都緊緊盯著那兩塊光刻完成的矽片。

張工和李工用特製的裝置，一人負責一塊矽片，轉移到隔壁的電鏡檢測室裡面。

電子顯微鏡下，矽片上的電路圖紋路和模板一模一樣，唯一區別就是尺寸。

“竟然真的可以做到7奈米，不可思議。”李工看著電子顯微鏡驚歎道。

“不僅僅如此，x射線光刻出來的紋路非常整齊細膩，真是一個傑作。”張工補充道。

倆人對於兩塊矽片進行了非常全面的檢測，最後生成兩份檢測報告。

在外面乾著急的李偉光，看到倆人走出來，迫不及待的上前問道：“結果如何”

中芯國際和海思眾人緊張又期待的看著倆人，希望是好訊息，而不是壞訊息。

“李總，神光1x射線光刻機的精度確實達到了10～7奈米，甚至比阿斯麥的極紫外光效