第46部分(第2/4 頁)

第七十八章：死命令

沈丹青帶頭，他們一行三人就往會議室趕去。到了大會議室沈丹徑直往臺上走去，其它兩人就在臺下第一排找位置坐了，這也是長勝投資集團一貫的會議風格，大家都習慣了。

沈丹青往臺上發言席一坐，就掃視了一下全場，整個會場頓時靜悄悄的，落葉可聞。只見臺下黑壓壓一片，起碼有兩三百人，化學研究是個大科目，所以研究人員比較多。

“咳咳”沈丹青先咳嗽了兩聲，清了清嗓子才開始發言：“我今天來，有一件重要的事要告訴大家。再過不久我們公司就要進行晶片生產裝置的研發，其中你們化學研究所就佔了很重要的任務。

晶片到底是怎麼生產出來的？大家都沒有見過，也不知道，今天我就跟大家簡單的說一說。

1塊20英寸直徑的矽晶圓，上面一次可以蝕刻近兩千塊微型晶片。因為微型晶片內部的微型電路特別精細也特別多，因此不可能用人工完成。國外的科學家就發明了用物理和化學的方法來蝕刻晶片。物理的方法就是使用光刻機，化學的方法才是真正蝕刻晶片的關鍵。包括後期的離子參雜和銅互聯，整個過程全部都有化學的參與。因此你們才是整套裝置研發的關鍵。

我先將整個步驟簡單地同大家說一說。首先準備兩塊拋光好的矽晶圓，將其中的一塊塗上墊底膠，叫做底片。這個墊底膠就是你們研發的第一個任務，它要求穩定、附著力強、耐腐蝕、耐紫外光照射。因為第二片矽晶圓就是用墊底膠附著在底片上，我叫它基板，他才是製造微型晶片的真正材料。第二個步驟就是在基板上塗上光刻膠，鐳射透過掩模板照射在基板上，未被鐳射照射到的基板上就留下了一個個圖形，這些圖形就是真正的晶片。這個光刻膠就是你們要研發的第二種化學膠。它對紫外光極度敏感，被鐳射照射後就變質了，用水一衝洗就露出了下面的矽晶圓。大家注意這個水也不是普通的水，必須是無氧無雜質的超純水。因此也是你們的研發任務。沖洗完之後就要烘乾，然後進入下一個環節蝕刻。蝕刻就是對露出來的矽晶圓溶解掉，直到露出底板膠為止，然後再用純水沖洗乾淨烘乾。到目前為止就形成了一塊塊獨立的晶片雛形。下面就進入了一個重要的環節真正的蝕刻電路，步驟與我剛才介紹的差不多，經過幾十上百次的重複光刻顯影清洗烘乾蝕刻清洗烘乾。才最終把電路蝕刻好。下面就進行摻雜，要摻雜我們需要的好幾種雜質，如：硫、磷、砷等等。整個過程也要進行十幾次重複，最終才真正製成我們需要的各種電晶體。

這個時候各個電晶體還是獨立的沒有連線所以不能發揮作用，我們需要對它進行銅互連工藝。不過無氧銅天然的與二氧化矽不太相沾，因此我們又需要對電晶體表面鍍一層粘連層，以便與無氧銅能相沾。記住，是電晶體的兩頭，其餘的地方全部要用光刻膠覆蓋了。怎麼鍍呢？！一般採用離子氣相沉積法，鍍上一層淡化鎢、氮化鈦、淡化鉭等等這幾種物質都能很好地與二氧化矽相沾，也能與銅相沾，也都是導電合金。因為是在氮氣的環境下進行蒸鍍的，因此溫度比較低，對電晶體造成的損傷很少。做完這一步，就可以進行銅互聯工藝了。這道工藝也是光刻顯影清洗烘乾蝕刻清洗烘乾如此再三，要刻上十層銅連線。大家注意，每層銅連線之間開始都要鋪上一層光刻膠，因此需要一道獨特的溶解工藝，要溶掉所有光刻膠，便於晶片散熱。我想大家應該就明白了，蝕刻銅的化學液，還有溶掉光刻膠的化學液，也要你們研發。

都是你們從未聽過的和見過的化學物質，任務很艱鉅，我只能提醒你們光刻膠是一種有機化合物，裡面會有一種重要的物質就是蛋清液。其他的我也愛莫能助。但是我也只能給你們半年時間去研發，你們需要什麼資料和實物可以讓技術資訊部去國外想辦法弄回來