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當然矽晶圓基片，它是最後才放進來的，而且微型機械臂是從下面輸送進來的，不佔用這5毫米的工作空間。

矽晶圓基片臺是真正的固定，它不需要移動。唯一能上下左右移動的就是鐳射頭。鐳射頭不止一個，而是一排。就像刷卡一樣，它只要刷一次就夠了。

看起來很簡單，其實他最難的是怎麼控制掩模板與基片之間只相差幾奈米，鐳射頭與掩模板之間只相差幾奈米。就是這一個難點就難住了許公司，這需要奈米級加工工藝才能做到。而恰好長勝投資集團就能做到，道理就是這麼簡單。

掩模板不止一塊，而是有許多塊。因此他有另外一套安置機構，就像機床的刀具換刀系統一樣。為了最大限度地節省空間，它是平行環繞在工作臺的周圍的，它能環繞轉圈，能根據電腦的指令，將下塊需要的掩模板輸送到微型機械臂的面前。原理和機床的數控換刀系統是差不多的。

為什麼要把工作臺設定的這麼薄呢？就是為了減少上下移動所花費的時間，還有也減少了運動勢能，這就相應的增加了上下移動的控制精度。

到了這時，如果僅僅從光刻機的角度看，長勝投資集團的晶片製程工藝已經超過了2017年的世界水平。郭東他們設計的光刻機甚至能達到10奈米以內的製程工藝，當然鐳射頭還需改進成為聚焦式鐳射頭。但是從純機械的角度看，他們是真的達到了。

不過晶片製程是一個系統的工程，不是簡單的機械精度就夠了，其實最制約製程工藝的是化學蝕刻環節。在以後的章節中我會祥細講解。

在以往的工業文中，有作者提到浸潤式鐳射技術，能翻倍提高蝕刻精度。那是因為當時所處的時代，鐳射精度低所導致的，長勝投資集團所用的極深紫外光是2016年才研發的技術，鐳射精度一下子提高了幾十倍，遠遠不是什麼浸潤式鐳射頭技術所能比擬的。

光刻機研製成功了，郭東他們進行了多次實驗，發現蝕刻精度非常高，已經完全達到或超過了要求。洪濤甚至直言自家的技術已經遠遠超過了美國，他能這麼說，是有道理的。

他是留美電子工程博士，他在美國見過光刻機實物。也知道他們的晶片製程工藝級別。雖然已經過了好多年，但他根據摩爾定律推測，自家的技術也遠遠超過了美國幾個量級。

郭東他們第一時間將這個好訊息報告給了沈丹青，沈丹青馬上就來到了長勝精工。他在現場認真聽取了郭東他們的講解，不住的滿意的點頭，就像小雞啄米一樣的勤快，完全沒有意識到這樣會不會傷脖子。

他太高興了，光刻機直到2017年都是中國的一塊短板，如今他們公司已經研製出來了，可以說已經為中國補上了短板，他能不高興嗎？這可不是錢所能做到的。他想象未來中國每年幾千億美元的晶片進口額度沒有了，那中國又是怎樣的一個情況呢？畫面太美，以致於他不敢再想象了。

他收攏心思、穩定了情緒就又問郭東道：“離子注入機研製得怎麼樣了？”

“對不起！老闆，我不知道？”郭東被問得啞口無言，他的心思全用在研製光刻機上了，哪裡知道另外一組的情況。

幸好這時盧汝成趕忙來補救，他急忙向老闆說道：“老闆，我們分組了，我們一門心思都在研製光刻機上了，一有了結果就馬上報告給你了。因此還不知道另外一組的情況。請您恕罪。”

聽到盧汝成的解說，沈丹青的臉色立刻多雲轉晴了，於是他微笑地對他們說：“是這樣就怪不得你們了，兩耳不聞窗外事，這是所有科研人員的通病嘛！哈哈哈哈！好啦！你們這邊解決了，我們去看看另外一組的情況吧！”

可是他的好心情沒有持續多久，到了另外一組一瞭解，他們居然還在理論研究階段，令他幾乎是咆哮似的發