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度的一致性，在這個加工步驟中，也要加防氧化油，使整根棒材外表有油保護，防止氧化。”

說到這裡，他又用筆指著另一個圖示說道：“到了這一步，就必須在氬氣環境內進行下一步了，因此，我們必須把去油、清洗和烘乾這三個步驟整合到整個系統裡面。防止矽晶棒暴露在空氣中而被氧化。”

“等等，郭部長，清洗和烘乾這兩個步驟，光刻機、離子注入機和cvd機都要用到，而且你還忘了，回火這個步驟，單矽晶棒在切薄片的時候，因溫度過高的原因會變形，因此需要回火。”範學東畢竟是專業人士，比他們更瞭解整個製程工藝。因此出言提醒了郭東。

“謝謝你的提醒！範先生。”郭東不知如何稱呼他的職務，只好叫他先生了。

“沒什麼，我們不是一起解決問題嘛！”

範學東搖著手，客氣道。

“好！既然是這樣，那我們就把烘乾爐和回火爐集合成一體，只需要加一個溫度調節就解決了。”郭東用拿筆的右手重重地捶了一下桌子說出了自已的想法。

說完他又皺起了眉頭，然後像自言自語地說道：“不過這樣一來，老闆說的一條軌道遠遠不夠，長長短短可能要十多條，像一條複雜的鐵路系統了。只不過很短吧了。”

“我想的也差不多，整套系統絕不簡單，我們要把裡裡外外都考慮清楚了，再開始設計，儘量減少不必要的錯誤。”盧汝成是在場地位最高的，還超過了他以前的頂頭上司郭東，因此他沒有顧慮的發表了自已的意見。

“嗯！盧總說得不錯，那我們休會一個小時，大家都思考思考。”郭東作為主人，作了決定。

郭東說完，大家都找座位坐下。每個人都在拼命地思考，在心裡描繪出整個系統的雛形，設想怎樣才更合理。

“咚咚”過了一個小時，郭東準時敲響了桌子，將大家從思考中驚醒過來。

他見大家都注意到了自已就開始說道：“由於人數較多，就不一個個發言了，時間不允許。我說出我的想法，有什麼不對的大家補充。”

他沒等大家回答，組織了思路就開始說了：“我把去油、清洗、烘乾和切片整合在一條軌道上，具體步驟按我說的順序來。切完的矽片通機械臂輸送到烘乾室也就是回火爐回火，然後再送到對面的打磨機。並且機械臂的托盤必須要是真空吸盤，因為矽片很薄，不能用機械的方式傳輸，否則會損傷矽片。同理打磨托盤也要是真空吸盤式，肯定不能用卡鉗的方式，否則損傷更大。上膠機必須設計兩部，兩種不同的膠不能混和在一起，否則會有互相沾染的危險。最重要的是上完膠要有一個烘乾的步驟，這裡也要用機械臂直接輸送不用設軌道。因此必須把兩臺上膠機都佈置在對面。兩臺上膠機和打磨機體積都不大，可以佈置得很緊湊。

又因為各個步驟都要檢測，因此我們可以把機械臂執行的軌道用玻璃封閉，方便使用電子顯微鏡檢測。

我設想的大體系統架構就是這樣，具體到每部機器再具體設計。大家有什麼補充的就說一下。”

說完他就坐到。，將位置讓了出來。

“咳咳”盧汝成見其它人都不說，就咳嗽兩聲，開始發言：“我認為郭部長的設想已經非常完善了，我只補充一條，還需要一個單獨的光刻膠腐蝕步驟。因為光刻機會進行多次光刻，那麼就要進行多次的上膠去膠，因此，有必要設計一個單獨的去膠室。”

說完這些他就不再說了，把時間讓給別人了。其實到了這一步已經非常完善了，大家沒什麼好補充的了。因此一下子冷場了。

郭東見大家不再發言，就又站起來說：“既然大家不再補充啦！那我們就散會吧！吃飯時間到了，我們公司食堂的飯菜很好的，大家都知道的。哦！瞧我