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但難度也最大,我們目前還沒有這個需要,可以做為以後的研究課題。為了趕時間,我打算這次就採取非接觸式,符合我們目前的製程工藝,最高精度可以達到二十奈米以內,目前來講完全足夠了。相反,我們的晶片設計還沒趕上來,這次就只試製十六位元的晶片,精度只要達到u米級就夠了,洪所長你們扯後腿了啊!”
郭東又開了洪濤的玩笑,不過這卻是實情。洪濤也很無奈,晶片設計很複雜,需要大量的熟練人手。跟老闆說得一樣,要設計奈米級晶片,至少得有幾千熟練電子工程師,否則想都不要想。
想到這些,洪濤接過話頭說道:“目前我們只能設計一些簡單的晶片,連32位元的晶片都要花大量時間才行,至少一年計,我們的熟練人手太少了,實在沒辦法。老闆也知道我們是短板,因此我還被老闆批過。唉!”
“好啦!既然老闆已經批評了,我們就不批評你了。”郭東又小小的開了一記玩笑,然後正式說道:“非接觸式光刻的技術要點就是鐳射頭、掩模板還有基片要無限接近,最好只相差幾個奈米,這樣才能保證最大的精度。這是屬於一種1:1投影技術或者說光刻技術,對掩模板的製作要求非常高,盧總,能不能將設計圖進行電子圖縮小?而不是光學縮小?”
“理論上是可以的,我們儘量想辦法,也就是說我們根本不搞紙質圖紙了,直接用電子圖紙投影曝光?”涉及到他的專業,盧汝成想也沒想就回答了。
這時洪濤也獲得了靈感,因此接過了話頭說道:“我打算採用液晶投影技術,液晶是一種分子級別的化合物,只要我們技術足夠,那麼控制精度可以無限小,我相信它能夠很好的解決1:1電子圖形縮小問題。我們就不走國外那套老路了,那樣太複雜,而且精度不夠。”
“也只有你才知道國外是怎麼搞的,我們從來都是自己搞自己的,不也很好嗎?只要我們達到了目的就夠了。”
這時王波也插話說道,他對國外是怎麼搞的是真不懂,他的話沒有半句水份。
“洪所長這個主意很好,這樣電子圖形縮小就沒問題了。”盧汝成對洪濤的辦法不由拍案叫絕。
“這樣我們是不是可以取消掩模板呢?”
郭東提出了一個大膽的設想。
“當然不行,液不能代替掩模板,因為液晶屏是透過光的偏振原理,來實現影象顯示的。它根本就不可能實現,高精度光刻,不過我們可以試一試,讓液晶屏代替光刻機,給掩模板顯影電子圖形,如果能夠做到,也是一種了不得的進步,能節省很多步驟。
不過我們必須研究出一種,對光非常敏感的光刻膠。在化學蝕刻的時候,又能有效的保護未被光照的鍍鉻層。”
“王所長,這點你們能解決吧!”洪濤先給郭東解釋了液晶原理,然後又問王波道。
“沒問題。自從研究光刻膠以來,我們已經研究出多種光刻膠了。都是分別針對不同的物質,給掩模板用的光刻膠,我們已經研究出來了。效果怎麼樣?要試試才知道。”王波給予了肯定的回答。
“那太好了,那我們就試試吧!”郭東激動的說道
由於這次用途的特殊原因,他們不需要複雜的液晶技術,只需要第一代液晶技術,即tnlcd。就是簡單的黑白屏,白光就是電路圖,如果掩模板與液晶屏隔得足夠近的說,也可以留下滿意的電路圖形。
還有一點與普通的液晶屏不同,這裡的背景光源是強光源,他不是給人看的,而是專為掩模板曝光的。
當然缺點也很明顯,由於液晶分子的大小原因,精度不夠,因此不適合奈米級晶片技術,這是他們後來經過實驗,才明白這個道理的。
未完待續……
第109章:畫面太美
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